潔（jié）淨室(Clean Room)，亦稱為無塵室或（huò）清淨室。它是汙染控製的基礎，沒有潔（jié）淨（jìng）室，汙染敏感零（líng）件不可能批量生產。在FED-STD-2裏麵，潔淨室被定（dìng）義為具備空氣過濾、分（fèn）配（pèi）、優化、構造材料（liào）和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控製空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔淨度級（jí）別。
  潔淨室要獲得（dé）良好的潔淨效果，不僅要（yào）著重采取合理的空調（diào）淨化措施，而且也要求工藝、建築及其他專業采取相應的措施:不但（dàn）要有（yǒu）合理的設計（jì），而（ér）且還要精心的符合規（guī）範的施工安（ān）裝，以及正確的使用潔淨室和科學的維護管理。為使潔淨室獲得良（liáng）好的效果，國內外已有不少（shǎo）文（wén）獻（xiàn）從不同的角度作過闡述。實際上，不同專業之間很難做到理想地配合，而且設計者很難把握施（shī）工（gōng）安裝質量以及（jí）使用和管理情況，尤其後（hòu）者。就潔淨室淨化措施而（ér）言，許多設（shè）計（jì）者，或者還有施工方（fāng），往（wǎng）往對其必要條件未予足夠重視，造成潔淨效果不理想。本（běn）文僅就潔淨室淨化措施中（zhōng）達（dá）到潔淨度要求的（de）四個必要條件簡要論述。
  一、送風潔淨度
  要保證送風潔淨度符合要求，關鍵是淨化係統末級過濾器的性能和安裝。
淨化係統末級過濾器一般采（cǎi）用高（gāo）效過濾器或（huò）亞高（gāo）效過濾器。按我國標準[1]規定（dìng）高效過濾器效率分四檔:A類為≥99.9%，B類為≥99.9%，C類為≥99.999%，D類為(對≥0.1μ m粒子)≥99.999%(亦稱超高效過濾器);亞高效過濾器[2]為(對≥0.5μm粒子)95~99.9%。效率（lǜ）越高，過濾器的價格也越貴。所以選擇過濾器時應本著既要滿足送風潔淨度要（yào）求（qiú），又要考慮經濟合理。從潔淨（jìng）度要求考慮，以低級別潔淨室選用（yòng）低性能（néng）過濾器（qì）、高級別潔淨（jìng）室（shì）選用高性能過濾器為原則。一般說來:100萬級可選用高中效過濾器;低於1萬級可選用亞高效或A類高效過濾器;1萬（wàn）~100級選用B類過濾器;100~1級選用（yòng）C類過濾器。這裏每個潔淨度級別似乎都有兩類過濾器可供選擇，選擇高性（xìng）能的還是低性能的，要視具體情（qíng）況而定:當環境汙染（rǎn）嚴重，或室內排風（fēng）比例很大，或該潔淨室（shì）特別重要，需要較大安全係數，在這些或其中之一情況下，均要（yào）選擇高一類過（guò）濾（lǜ）器;反之（zhī）可（kě）選擇較低性能過濾器。對0.1μm粒子要求（qiú）控製的潔淨室，不論控製的粒子濃度高低均（jun1）要選擇D類過濾器。以上所述僅從（cóng）過濾器角度（dù）出發，實際上要（yào）選擇好（hǎo）過濾器還（hái）要全麵考（kǎo）慮潔淨（jìng）室（shì）特性、過濾器特性和淨（jìng）化係統特性。
  要保證送風潔淨度，僅有合格的過濾器是不夠（gòu）的（de），還要保證:a.運輸（shū）、安裝過程不損壞過濾器;b.安裝嚴密。要做到第（dì）a，則要求施工安裝人員訓練有素，既（jì）要有安（ān）裝淨化係統方麵的知識，又要具備較熟練的安裝技能，否（fǒu）則將難以保證（zhèng）不損壞過濾器，這方麵是有深刻教（jiāo）訓的。其次，安裝嚴密性問題，主（zhǔ）要取決於安裝結構型式優（yōu）劣，設計（jì）手冊（cè）一般推薦（jiàn）:對（duì）於單個過濾（lǜ）器采用明裝型式，這樣即便發生滲漏，也不致漏到室內;采用成品高效（xiào）送風口，嚴密性也比較容易得到保證。對於多個過濾器的風□,近幾年常（cháng）采用液（yè）槽密封和負（fù）壓密封。液槽密封必須保證液槽接縫嚴（yán）密和整體框架都處於同一水平麵上（shàng）。負壓密封就是使（shǐ）過濾器與靜壓箱和框架接縫的外周邊處於負壓（yā）狀態，與明裝型式一樣即使滲漏也不會（huì）漏到室內。實際上隻要做到安裝框架平整，過濾（lǜ）器端麵與安裝（zhuāng）框架接觸均勻，任何安（ān）裝型式使過濾器達到安裝嚴密性要求應該說是不難的。
  二、氣流（liú）組織
  潔淨室的氣流組織與一般空調房間有所不同（tóng），它要求將最幹淨的空氣首先送到操作部位，它的作用在於（yú）限製和減少對加工（gōng）物的汙染。為（wéi）此（cǐ），在設計氣流組織時應考慮這些原則:盡量減少渦流，避免將工作區以外的汙（wū）染（rǎn）帶（dài）入（rù）工作區;盡量防止灰塵（chén）的二次飛揚以減少灰（huī）塵對工件的汙染機會;工作區（qū）的氣（qì）流要盡量均勻，且其風速要滿足工藝和衛生要求，當氣流向回風口流動時要使空氣中的灰塵能（néng）有效的帶走。根據不同的潔淨度要求，選（xuǎn）擇不（bú）同的送（sòng）、回風方式。
不同的氣（qì）流組織，各有（yǒu）其特點和範圍（wéi）:
  1) 垂直單向流:均可（kě）獲得均勻向下氣流，便（biàn）於工藝設備布置，自淨能（néng）力強（qiáng），可簡化人身淨化設（shè）施（shī）等共同（tóng）設施等共同優點外，四（sì）種送風方式還有其各自優缺點:滿（mǎn）布高效過濾器具有阻力低、更換過濾器周期長等優點，但（dàn）頂棚結構複雜，造價高;側布高效（xiào）過濾器頂送、全孔板頂送與滿布高效過濾器頂送（sòng）的優缺點相反，其中全孔板頂送在係統非連續運行時，孔板內表（biǎo）麵易積塵，維（wéi）護不好，對潔淨度（dù）有些影響;密（mì）集（jí）散流器頂送，因需要一段混和層，所以隻適用於4m以上高大潔淨（jìng）室，其特點（diǎn）與全孔板頂送相仿;對於相對兩側格柵的板和相對（duì）兩側牆下部均勻布（bù）置回風（fēng）口的回風方（fāng）式僅適用兩側淨間距小於6m的（de）潔淨室;單側牆下部布回風口僅適用對牆間距較小(如≤<2~3m)的（de）潔淨室。
  2) 水平單向流:隻在第一工作區（qū）達到100級潔淨度，當空氣流向另一側的過程中含塵濃（nóng）度逐漸升高，所以僅適用於同（tóng）一房間工（gōng）藝過程有不同（tóng）潔淨度要求的潔淨室;送風牆局部布高效過濾（lǜ）器較滿布水平（píng）送可減少高效過濾器用（yòng）量，節約初投資，但局部區（qū）域有渦流。
  3) 亂流（liú）型氣流:孔板頂送和密集散流器頂送的（de）特點與前述（shù）相同:側送的優點易於（yú）管道布置（zhì），無需（xū）技術夾層，造（zào）價低，有（yǒu）利於舊廠房改造，缺點是（shì）工作區風速較大，下風側比上風側含塵濃（nóng）度高;高效過濾器風口頂送（sòng）具有係統簡單、高效過濾器後無管道（dào）、潔（jié）淨氣流直接送達工作區等優點，但潔淨氣流擴散緩慢，工作區氣流較均勻;不過當均勻地布置多（duō）個風（fēng）口或采（cǎi）用帶擴散板地高效過濾器風口時，也可使得工作區氣流較（jiào）均勻;但在係統非連（lián）續（xù）運行地情況下，擴散板易積塵。
  以上論述均（jun1）屬於較理想狀態，也是國家有關規範、標準或設計手冊所推薦。實際工程中或受限（xiàn）於客觀條件，或由於設計（jì）者地主觀原因而未（wèi）設（shè）計好氣流組織，常見的（de）有:垂直單向流采取相鄰兩側牆下（xià）部回風，局部百級采用上送上回(即局部送風口下（xià）未加下（xià）垂圍簾)，亂流型潔淨室采（cǎi）用高效過濾器風口頂送上回或單（dān）側下回(對牆間距較大)等，這些氣流組織方（fāng）式經實（shí）測（cè），其潔淨度大多數（shù）都達不到設（shè）計要求。由於現行規範[6]規定空態或靜態驗收，個別的這類潔淨室（shì）在空態或（huò）靜態下勉強達到（dào）設計的潔淨度（dù）級別，但（dàn）抗（kàng）汙染幹（gàn）擾能力很低，一旦潔淨室進入工作（zuò）狀態就達不到要求。正確的氣流組織局部區域應設圍簾（lián）下垂至工作區高（gāo）度，10萬級也不應采用上送上回。還有目前大多數工廠生（shēng）產的帶擴散板的高效送風口，其擴散板都（dōu）隻是裝飾性孔板而不起擴散氣流作用，請設計者和用戶要特別注（zhù）意。
  三、送風量或風速
  足（zú）夠的通風換氣量是為了（le）稀釋和排除（chú）室內汙染空氣，根據不同的潔淨度要（yào）求，當（dāng）潔淨室淨高較高時，適當（dāng）增加換氣次數。其中，100萬級潔淨室（shì）的通風量是按高中效淨化係統（tǒng）考慮（lǜ）[7]，其餘均按高效淨化係統考慮;當（dāng）10萬級潔淨室高效過濾（lǜ）器集中布置在機房（fáng）或係統末端采用亞高效過濾器時，可適當提高換氣次數10-20%。
  對於上述通風量推（tuī）薦數值筆者認為:單向流潔淨室通過房間截麵風速偏低，亂流型潔淨室是有較充分安全係數的推（tuī）薦值。垂直（zhí）單向流≥0.25m/s，水平單向流≥0.35m/s，在空態或靜態下檢測（cè）潔淨度，雖然能達到（dào）要求，但（dàn）抗汙染能力較差，一旦室內進入工作狀態，潔淨度就可能達不（bú）到要求，這類實例已不屬於個別;同時（shí），我國通（tōng）風機係列中尚（shàng）未有較適合淨化係統用的風機（jī），一（yī）般設計者又往往對係統空氣阻（zǔ）力（lì）未作（zuò）準（zhǔn）確計算，或未注（zhù）意到所選用的風機是否處（chù）於特性曲線上比較有利（lì）的工作（zuò）點，使得係統在（zài）投入運行後不久，風量或（huò）風速就達不到設計值。美國聯邦標準(FS209A~B)在1987年10月27日之（zhī）前一直這樣規定（dìng）:單向流潔淨室通過潔淨室截麵的氣流（liú）速度通常保持在9Oft/min(0.45m/s)，在整個房間無幹擾的條件下，其速度不均勻度在士20%以內，氣流速度任何明顯的下降都會增加自淨時間和（hé）工作（zuò）位置之間汙染影響的可能性（xìng）(1987年10月FS209C頒布之後對含塵濃度以外的所有參數指標均未作規定)。為此，筆者（zhě）認為宜適當提高目前國內對單向流速度的（de）設計值，我們單（dān）位在實際工程中照此做了，效果還是比較好的。亂流型（xíng）潔淨室是有較充分安全係數的推（tuī）薦值，但許多設計者仍不放心，在做具體設計時將10萬級潔淨室通（tōng）風量加大到20~25次/h，1萬級加大到30~40次/h，1000級加大到60~70次/h，這（zhè）樣做不（bú）僅加大了設備容量、加大了初投資（zī），也增加了日後維護管（guǎn）理費用，實際上也沒有必要這樣做。在編（biān）製（zhì）我國（guó）空氣潔（jié）淨技（jì）術措施[7]時曾調查測定了國內100多（duō）個潔淨室，許多潔淨室還是在動態下檢（jiǎn）測的，結果表明:10萬級≥10次/h、1萬≥20次/h、1000級（jí）≥50次/h通風量即可滿足要求。美國（guó）聯邦標準(FS2O9A~B)規定:非單向流潔淨室(10萬級、1萬級)，室高8~l2ft(2.44~3.66m)，通常（cháng）考慮全室至少每3分（fèn）鍾換氣（qì）一次(即20次/h)。因（yīn）此，設計規（guī）範的（de）規定[6]已經考（kǎo）慮（lǜ）了較大的富裕係數，設計者（zhě）完全可以（yǐ）放心（xīn）地（dì）按照表1通風量地推（tuī）薦值選用。
  四、靜壓差
  潔淨室維持一定的正壓是保證潔淨室不受或少受汙（wū）染、以維持設計潔淨度等級必不可少地條件之一。即便是負（fù）壓潔淨室，它也必須有不低（dī）於它潔淨度級（jí）別（bié）地相鄰房間或套間維持一定地正壓，負壓潔淨室的潔淨度（dù）才能得以維持。
  潔淨室正壓值是指門窗全部關閉狀態下，室內靜壓大於室外靜壓的數值（zhí）。它是通過淨化係統送風量大於回風量和排風量的方法來達到。為了保證潔淨室正壓值，送風、回風和（hé）排風（fēng）機最好聯鎖，係統開啟時先啟動送風機，再啟（qǐ）動回風機和排風機;係（xì）統關閉（bì）時先關排風機，再關回風（fēng）機和送風機，以防止潔淨室在係統開（kāi）啟和（hé）關閉時受到汙染。
  維持潔淨室正壓所需（xū）的（de）風量（liàng）主要根（gēn）據維護結構密閉性好壞來確定。我國潔淨（jìng）室建設初期由於圍護結構密閉性較差（chà），要（yào）維持≥5Pa的正壓就要2~6次/h送風量;目前（qián）維護結（jié）構密閉性已大（dà）為提高，維持同樣的正壓隻要1~2次/h送風量;維持≥1OPa也隻要2~3次/h送風量。
  我國設計規範[6]規定:不同等（děng）級的潔淨室（shì）以及潔淨區和非潔淨區之間的靜壓差應不小於0.5mmH2O(~5Pa)，潔淨區與（yǔ）室外的靜壓差應不小於1.OmmH2O(~l0Pa)。筆者認為該值似偏低，原因有三:1.正壓是表示潔淨室抑製通過門窗縫隙汙（wū）染室內空氣的能力，或在短時（shí）間（jiān）打開門窗時使滲入室內（nèi）的汙染物（wù）減少到最低限度的能力，正壓大小表示（shì）抑製汙染能力的強弱（ruò），當然不是正壓（yā）越大越好(後麵將談到（dào）)。2.正壓所需的風量有限，5Pa正壓與10Pa正壓所需風量僅差約（yuē）1次/h，何樂而（ér）不為呢?顯（xiǎn）然正（zhèng）壓（yā）值低限取l0Pa更優越些。3.美國聯（lián）邦標（biāo）準(FS209A~B)規定:當所有出入口關閉時，潔淨室與任何相鄰的（de）低潔（jié）淨度區（qū）域（yù）之間的最低正壓差為0.05英（yīng）寸水柱(12.5Pa)，這數（shù）值（zhí）已被許多國家采用（yòng）。
  但潔淨室的正壓值並非越大越好，根據本單位30多年實際工程檢測表明:當（dāng）正（zhèng）壓值≥30Pa時，開門就比較困（kùn）難，關門稍不留意，砰一（yī）聲!嚇人一跳;當正壓值（zhí）≥50~70Pa時，門窗縫隙就會發出（chū）哨音，體弱者或有某種不適應症者不適感覺。可是國內和國外許多國家的（de）有關規範或標準均未（wèi）規定正壓的上限值（zhí），這樣的結果許多單位（wèi）都隻求（qiú）下限值滿足要（yào）求，而不管上（shàng）限值達到多少，在筆（bǐ）者（zhě）遇（yù）到的實際（jì）潔（jié）淨室中正壓值有高（gāo）達100Pa以（yǐ）上，造成很不好的效果。實際上（shàng）調整正壓並不是一件（jiàn）很難的事（shì），把它控製在一定範圍內是（shì）完全可能的。曾有文獻介紹東歐某國將正壓值規定為1-3mmH20(約10~30Pa)，筆者認為這個範圍是比較合適的。
  對於一（yī）個潔（jié）淨室來說，以上（shàng）四個必要條（tiáo）件必須同時（shí）得到滿（mǎn）足，才能（néng）保證潔淨度達到要求並具備應有的抗汙染（rǎn）幹擾（rǎo）能力。